概要
この装置は細く集束された電子ビームを試料の表面上に照射し、その部分から生ずる特性X線の波長や強度、二次電子や反射電子の量などを測定することによって、試料の形状の他、試料の構成元素の種類、含有量、分布状態などが分析可能。
＜仕様＞
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 型式 | JXA-8900RL（日本電子製） |
| 分析元素 | B（5）〜U（92） |
| 波長分散型X線分光器（WDS） | |
| X線分光範囲 | 0.087〜9.3nm |
| WDS数 | 1〜5基選択 |
| エネルギー分散型X線分光器（EDS） エネルギー分解能 |
149eV |
| 加速電圧 | 0.2〜40kV 0.2〜10kV（0.1kVステップ） 10〜40kV（0.5kVステップ） |
| 照射電流範囲 | 10-12〜10-5A |
| 照射電流安定度 | ±1.5×10-3A/h |
| 二次電子像分解能 | 6nm（WD11mm、35kV） |
| 倍率 | ×40〜300,000（WD11mm） |
