非常に細く集束された電子線を走査しながら試料表面に照射する。そこから反射または発生してくる電子を検出し、増幅後、表示装置を通して観察することにより、凹凸の激しい試料表面の構造を拡大して三次元的に像を観察することができる。本装置は電子銃としてコールドタイプのFE銃を装備しているため、仮想光源のプローブサイズが極めて小さく、高輝度であり、さらに収差を低減させたセミインレンズタイプのレンズを有するため、超高分解能タイプである。またオプションとしてエネルギー分散型X線分光器を装備しているため、試料中の組成分析も可能。試料の超微細構造観察や組成分析が可能。