マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ

藤田博之著

東京 : 工業調査会, 2003.8

Book

Volume No.

No. Location Call mark Material ID Notes

1

Yokosuka Library (JAMSTEC staff only)

  • 530
  • F67

32009454

横浜図書館2Fに取り寄せて閲覧可(要事前連絡)

Details

Publication year

2003

Form

232p : 挿図 ; 21cm

Note

参考文献: 各章末

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

藤田, 博之(1952-) (フジタ, ヒロユキ) [ Fujita, Hiroyuki ]

Classification

NDC8:530

NDC9:530

Subject

マイクロマシン

ISBN

4769371179

NCID

BA6332701X

Number

TRC : 03040770