マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ

藤田博之著

東京 : 工業調査会, 2003.8

図書

巻号情報

No. 所在 新請求記号(NDC方式) 資料ID 備考

1

横須賀図書館(職員専用図書館)

  • 530
  • F67

32009454

横浜図書館2Fに取り寄せて閲覧可(要事前連絡)

詳細情報

刊年

2003

形態

232p : 挿図 ; 21cm

注記

参考文献: 各章末

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

藤田, 博之(1952-) (フジタ, ヒロユキ) [ Fujita, Hiroyuki ]

分類

NDC8:530

NDC9:530

件名

マイクロマシン

ISBN

4769371179

NCID

BA6332701X

番号

TRC : 03040770