【目次】
▶ スーパークリーンルーム
▶ 超高精度分析機器による微小領域研究
▶ 極微小領域分析室
▶ 微細組織構造解析室
伊藤:こちらが、超高空間分解能操作型二次イオン質量分析装置(NanoSIMS)と大型扇形磁場型高感度二次イオン質量分析装置(IMS1280HR)がある極微小領域分析室(360度映像2)です。
伊藤:NanoSIMS(写真6)は、超高感度で極微小領域(~0.1 μm)の元素濃度測定や同位体比を測定し、その二次元、あるいは三次元の分布を可視化することが可能です。
伊藤:イオンビーム(一次イオン)を試料表面に当てると、試料表面が壊れて、電子・中性子・イオンなどの粒子が飛び出します(図7)。その中でもイオン(二次イオン)のみを引っ張り出して、磁場の中を通過させると、イオンの持っている質量と電荷の比に応じて軌道が曲がります。最終的には、その先にある検出器に到達し、それぞれのイオンがどれだけあるのかを検出します。同位体や微量元素分布の可視化は、このプロセスを測定点ごとに繰り返して行い、PC上で測定位置と質量分析結果を対応させ、イメージとして再構築することで行っています(写真7)。